Ecole Doctorale
SCIENCES POUR L'INGENIEUR : Mécanique, Physique, Micro et Nanoélectronique
Spécialité
Sciences pour l'ingénieur : spécialité Micro et Nanoélectronique
Etablissement
Aix-Marseille Université
Mots Clés
capteur de gaz,hydrogène,power to gas,palladium-or,
Keywords
gas sensor,hydrogen,power to gas,palladium-gold,
Titre de thèse
Micro-capteurs pour la mesure de lhydrogène injecté dans les réseaux de gaz naturel, dans le contexte de la technologie « Power to gas ».
Micro-sensors for measuring hydrogen injected into natural gas networks, in the context of 'Power to gas' technology
Date
Jeudi 29 Juin 2023 à 10:00
Adresse
Faculté des Sciences de Saint Jérôme
52 Av. Escadrille Normandie Niemen, 13013 Marseille
Salle du conseil IM2NP service 142
Jury
Directeur de these |
M. Jean-Luc SEGUIN |
Aix Marseille Université |
Rapporteur |
M. Nicolas JAVAHIRALY |
Université de Strasbourg |
Examinateur |
M. Eduard LLOBET |
Universitat Rovira i Virgili |
Rapporteur |
Mme Mathilde RIEU |
Ecole des Mines de St-Etienne |
Président |
M. Olivier PALAIS |
Aix Marseille Université |
CoDirecteur de these |
M. Tomas FIORIDO |
Aix Marseille Université |
Résumé de la thèse
Le power to gas (P2G) est basé sur la production dhydrogène vert par électrolyse de leau et son stockage dans le réseau de gaz naturel. Du fait de sa forte perméabilité à travers de nombreux métaux et de sa réactivité, lhydrogène peut être amené à fragiliser les conduites de gaz, et les variations rapides du taux dhydrogène injecté peuvent perturber le bon fonctionnement des turbines et bruleurs. La mesure de la teneur en hydrogène en temps réel dans le réseau est donc nécessaire pour se prémunir de situations à risques. Les capteurs dhydrogènes actuellement commercialisés ne peuvent opérer dans un milieu dépourvu doxygène, dhumidité ou comportant de nombreux composés chimiques.
Lobjectif de cette thèse, fruit dune collaboration entre CMR Group et léquipe MCI de lIM2NP, est de développer une nouvelle génération de capteurs dH2 capables dopérer dans le gaz naturel. Le palladium est un matériau sensible à lhydrogène prometteur pour la mesure dhydrogène en milieu anaérobie. Mais il présente des limites, du fait de son vieillissement accéléré sous hydrogène et dune forte hystérésis de mesure. Lajout dun autre élément comme lor, permet de stabiliser la structure, réduire lhystérésis de mesure et daméliorer la cinétique de détection.
Les travaux de cette thèse se sont orientés vers la conception dun microcapteur capteur résistif à base dune couche nanostructurée dalliage palladium or (PdAu) déposée par pulvérisation cathodique. Leffet de la composition chimique et de la microstructure y sont étudiés afin de sélectionner les paramètres de dépôt présentant le meilleur compromis entre sensibilité, rapidité de détection, hystérésis de mesure et vieillissement. Les performances ont été améliorées en jouant judicieusement sur le recuit, lépaisseur, la température de fonctionnement et sur le design, pour aboutir à la réalisation dun microcapteur performant.
Mots clés : microcapteur dH2, capteur de gaz résistif, Pd-Au, anaérobie, P2G, gaz naturel, pulvérisation cathodique.
Thesis resume
The principle of power to gas (P2G) is based on the production of green hydrogen by water electrolysis and its storage in natural gas grid. Due to its high permeability through many metals and its reactivity, hydrogen may induce pipeline embrittlement and disrupt the proper operating of gas turbines and burners. Hydrogen measurement in gas grid, in real time, is therefore necessary to prevent from any hazardous situations. Current commercially available sensor cannot operate in a dry anaerobic environment or in presence of numerous chemical compounds.
The purpose of this thesis, born from a collaboration between CMR Group and the MCI team of IM2NP, is to develop a new generation of H2 sensor able to operate in natural gas environment. Palladium is a promising candidate for hydrogen measurement in anaerobic environment. However, pure palladium exhibits strong measurement hysteresis and accelerated aging under hydrogen. The addition of another element like gold, allow to stabilize the structure, reduce the hysteresis of measurement and improve the kinetics of detection.
The works presented in this dissertation were oriented towards the design of a resistive sensor based on a sensitive nanostructured layer of palladium-gold alloy (PdAu) deposited by sputtering. The effects of the chemical composition but also of the microstructure were studied in order to select the deposition parameters presenting the best compromise between sensitivity, response time, measurement hysteresis and aging. The performances have been optimized by judiciously tuning the annealing, the thickness, the operating temperature and the design, in order to achieve a high-performance microsensor.
Keywords : H2 microsensor, resistive gas sensor, Pd-Au, anaerobic, P2G, natural gas, sputtering