Monsieur Roger DELATTRE / PhD

PhD

Title : SCIENCES DES MATERIAUX, PHYSIQUE, CHIMIE ET NANOSCIENCES

First registration date : 1 October 2009 / 4A

Doctoral school : Physique et Sciences de la Matière

Thesis defense date : 26 April 2013

Subject : Etude et simulation de la siliciuration du cobalt en couches minces pour la microélectronique : cinétique de formation, contraintes, texture et redistribution des dopants

Thesis supervisor : THOMAS Olivier

Thesis co-supervisor : PERRIN-PELLEGRINO Carine

Research unit : IM2NP - Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence