Ecole Doctorale
SCIENCES POUR L'INGENIEUR : Mécanique, Physique, Micro et Nanoélectronique
Spécialité
« Sciences pour l'ingénieur » : spécialité « Micro et Nanoélectronique »
Etablissement
Aix-Marseille Université
Mots Clés
multicapteur,couche mince,gaz,BTEX,
Keywords
multisensor,thin layer,gas,BTEX,
Titre de thèse
Multicapteurs intégrés pour la détection des BTEX
Integrated multisensors for BTEX gas detection
Date
Vendredi 23 Mars 2018 à 10:00
Adresse
Aix-Marseille Université
52 Avenue Escadrille Normandie Niemen,
13013 Marseille Amphi Rouard
Jury
Directeur de these |
M. Khalifa AGUIR |
Aix Marseille Université |
Rapporteur |
M. Eduard LLOBET VALERO |
Universitat Rovira i Virgili, Tarragone |
Rapporteur |
Mme Nadine LOCOGE |
Institut Mines Telecom |
Examinateur |
M. Philippe MENINI |
Université Toulouse III Paul Sabatier |
Examinateur |
M. Pascal KALUZNY |
ECOLOGICSENSE |
Examinateur |
M. David GROSSO |
Aix Marseille Université |
Examinateur |
M. Thierry CONTARET |
Aix Marseille Université |
Résumé de la thèse
La qualité de lair extérieur (QAE) a fait lobjet dune législation dès 1996 avec la loi LAURE. Depuis 2008, la directive Européenne 2008/50/CE a instauré des obligations de mesure et de seuils à ne pas dépasser pour certains polluants à léchelle européenne. Selon de nombreuses données toxicologiques et épidémiologiques, la pollution de lair est à lorigine dinsuffisances respiratoires, dasthme, de maladies cardiovasculaires et de cancers. Ainsi, la pollution de lair est donnée pour être responsable en Europe de plus de 300 000 décès prématurés par an.
Les Composés Organiques Volatils (COV) et notamment le Benzène, le Toluène, lEthylbenzène et les Xylènes (les composés BTEX) sont des polluants avérés et participent grandement à la dégradation de la qualité de lair intérieur et extérieur. Les effets sur la santé des BTEX permettent de justifier lintérêt de développer des microcapteurs à bas coûts, portables, pouvant être distribués à grande échelle, sensibles, sélectifs et capables de détecter des traces de BTEX dans lair ambiant.
Ce travail de thèse a concerné la réalisation dun multicapteur de gaz à base doxyde métallique pour la détection de traces de BTEX dans le cadre du projet SMARTY (SMart AiR qualiTY). Un système de caractérisation électrique complet a été conçu et mis au point pour la détection de très faibles concentrations de BTEX (le ppb).
Après une étude bibliographique, plusieurs matériaux ont été sélectionnés (WO3, ZnO, SnO2). Les caractérisations électriques des couches sensibles sélectionnées ont été effectuées sous air sec et sous différents taux dhumidité en présence de BTEX et de gaz interférents (NO2, CO2).
Le WO3 a montré les meilleures performances en présence dhumidité et a été choisi pour le transfert de technologie qui accompagne les nouveaux transducteurs brevetés AMU. Le multicapteur à base de WO3 a montré une détection limite de 1 ppb sous 50% dhumidité relative et a permis de détecter et de quantifier de manière efficace les BTEX.
Thesis resume
Outdoor air quality is subjected to the law LAURE since 1996. In 2008, the European Directive 2008/50 / EC introduced measurement requirements and thresholds that should not be exceeded for certain pollutants on a European scale. According to several toxicological and epidemiological studies, air pollution causes respiratory failure, asthma, cardiovascular diseases and cancers. In Europe, air pollution is responsible for more than 300 000 early deaths a year.
Volatile Organic Compounds (VOCs), particularly Benzene, Toluene, Ethylbenzene and Xylenes (BTEX compounds) are proven pollutants and play a major role in the degradation of indoor and outdoor air quality. The effects of BTEX on human health justify the interest in developing low-cost, portable micro-sensors that can be widely distributed, sensitive, selective and able to detect traces of BTEX in the ambient air.
This thesis is dedicated to the development of a metal oxide based multi-gas sensor for the detection of traces of BTEX within the framework of the SMARTY project (SMart AiR qualiTY). A complete electrical characterization system was designed and implemented for the detection of sub-ppm concentrations of BTEX.
Based on the state-of-art, several materials were selected (WO3, ZnO, SnO2). The electrical characterizations of the selected sensitive layers were carried out under dry air and under different humidity levels in the presence of BTEX and interfering gases (NO2, CO2).
Tungsten oxide (WO3) exhibits the best performance in the presence of moisture and is chosen for the technology transfer that accompanies the new patented AMU transducers. The WO3-based multi-sensor has a lower limit of detection (LOD) of 1 ppb at 50% relative humidity and effectively detects and quantifies BTEX.