Soutenance de thèse de SIEG--LETESSIER Théo
Titre de thèse
Métrologie de grands composants optiques à un niveau de précision sub-nanométrique
Metrology of large optical components at sub-nanometric level accuracy
Résumé de la thèse
L'amélioration de la qualité des composants optiques est essentielle pour accroître les performances d'imagerie en astronomie et dans les applications synchrotron. Cela nécessite le développement et l'amélioration des outils actuels. Ce travail combine approche expérimentale, modélisation analytique et simulations, visant à optimiser les mesures faites au Long Trace Profiler (LTP) pour la métrologie de miroirs à précision nanoradian. Le contexte scientifique et technologique de l'étude est tout d'abord présenté — couvrant les mesures faites en synchrotron et l'instrumentation astronomique — pour ensuite explorer les limites des méthodes de caractérisation actuelles. Les mesures réalisées avec le LTP de l'ESRF ont orienté les sujets à approfondir, avec par exemple l'apparition de biais de mesure concernant la détermination du rayon de courbure suite à l'inclinaison sagittale de la surface mesurée, ceci pour des miroirs cylindriques presque plans. En associant modélisation optique tridimensionnelle de l'instrument sous Zemax, couplé à la simulation de mesure avec des routines Python, nous avons cherché à identifier et caractériser ces sources d'erreur et les limites de conceptions du LTP de l'ESRF. Il a été démontré pour le LTP de l'ESRF qu'un biais du troisième ordre apparaît sur la mesure d'erreur de forme induit par le dé-focus du capteur, dont l'amplitude croît avec la longueur et la courbure du miroir. Pour les systèmes dépourvus de penta-prisme (e.g. LTP-2020), les simulations montrent que le dé-focus se couple directement à la correction des erreurs de translation de la tête optique. Un rétro-réflecteur modulaire, fondé sur un coin-cube scindé, a été conçu et validé pour la mesure précise de miroirs orientés face vers le bas, tandis qu'aucune solution universelle n'a été identifiée pour les configurations latérales. La qualité de la lentille convergente du système est apparue comme un facteur critique : une qualité d'erreur de forme inférieur à λ/20 sur la zone centrale de 20 mm est requise pour maintenir le biais induit en dessous de 50 nrad PV, les aberrations de coma et de trèfle verticales étant dominantes. Les analyses démontrent que les biais instrumentaux d'ordre impair — issus notamment du dé-focus ou de ces aberrations — peuvent être efficacement atténués par la méthode de moyennage AB-BA, consistant à mesurer le miroir une deuxième fois après une rotation de 180°. Pour complémenter expérimentalement ces conclusions, un deuxième LTP a été assemblé à l'ESRF, permettant d'étudier l'influence de la turbulence des flux d'air et des gradients de température sur la stabilité des mesures, avec la génération automatique de rapport de diagnostic. L'ensemble de ces résultats a conduit à la conception d'un LTP destiné à être assemblé au Laboratoire Souterrain à Bas Bruit (LSBB) à Rustrel. Ce travail espère ainsi contribuer à l'avancement de la métrologie de surface optique au niveau sub-nanométrique, ouvrant la voie à la fabrication d'optiques de meilleures qualités.
Thesis resume
Improving the quality of optical components is essential for advancing imaging performance in astronomy and synchrotron applications. This demands continuous development of high-precision metrology tools. This work presents a combined experimental, analytical, and simulation-based study to optimize Long Trace Profiler (LTP) configurations for nanoradian-precision mirror metrology. Beginning with the broader scientific and technological context—spanning synchrotron science and astronomical instrumentation—we examine the limitations of current characterization methods and highlight the unique role of slope-based instruments. Using a hybrid approach—combining full 3D optical modelling in Zemax, realistic Python-based measurement simulations, and targeted analytical models—we evaluated the performance of both pentaprism-based and non-pentaprism LTP designs under realistic operating conditions. Measurements at the ESRF reveal pronounced sensitivity to sagittal tilt of the surface under test (SUT) in determining curvature radii for nearly flat cylindrical mirrors, and quantify a third-order height bias induced by sensor defocus that scales with mirror length and curvature. For non-pentaprism systems, simulations showed that defocus couples directly into reference-beam-based motion error correction. A modular retroreflector, based on a split corner cube, was conceived and validated for accurate downward-facing mirror measurements, while no universal solution emerged for side-facing configurations. The quality of the Fourier Transform (FT) lens is identified as a critical performance factor: λ/20 wavefront accuracy over the central 20 mm is required to maintain slope errors below 50 nrad PV, with vertical coma and trefoil as the dominant aberrations. Analytical results demonstrate that odd-order instrumental biases or contribution (e.g. from sensor defocus, vertical coma and trefoil) can be effectively mitigated through AB-BA averaging, whereby the mirror is measured twice with a 180° rotation. To experimentally support these manuscript findings, an exploratory-scale LTP was developed, enabling controlled studies of environmental effects—including airflows, turbulence, and thermal gradients—on measurement stability, supported by automated diagnostic reporting. To conclude, the cumulated insights informed the conceptual design of a next-generation LTP for the LSBB low-noise underground laboratory, featuring an ultra-stable light source, phase-plate fringe generation, a simplified optical path, and upgraded electronics. Taken together, this work hopes to contribute to advancing optical surface metrology at the sub-nanometre level, thus supporting the manufacturing of next-generation optical components for demanding scientific applications.