Coordonnées
Doctorat
Intitulé : SCIENCES DES MATERIAUX, PHYSIQUE, CHIMIE ET NANOSCIENCES
1ère inscription en thèse :
October 2009
École doctorale :
Physique et Sciences de la Matière
Date de soutenance de la thèse :
26 April 2013
Sujet :
Etude et simulation de la siliciuration du cobalt en couches minces pour la microélectronique : cinétique de formation, contraintes, texture et redistribution des dopants
Directeur de thèse :
Olivier THOMAS
Co-directeur :
Carine PERRIN-PELLEGRINO
Unité de recherche :
IM2NP - INSTITUT MATERIAUX MICROELECTRONIQUE NANOSCIENCES DE PROVENCE
Intitulé de l'équipe :
Master
Intitulé : Micro et nanotechnologies
September 2009 - Université Paris Sud XI
Langues vivantes
Anglais : Scientifique
Portugais : Courant
Production scientifique
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In-situ study and modeling of the decreasing reaction rate at the end of CoSi2 formation
Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International
2011
R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
http://dx.doi.org/10.1109/IITC.2011.5940309
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CoSi2 ultra-thin layer formation kinetics and texture from X-ray diffraction
Thin Solid Films
2012
R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2012.10.128
-
Decreasing reaction rate at the end of silicidation : in-situ CoSi2 XRD study and modeling
Microelectronic Engineering
2013
R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2013.01.003