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Doctorat

Intitulé : SCIENCES DES MATERIAUX, PHYSIQUE, CHIMIE ET NANOSCIENCES
1ère inscription en thèse : October 2009
École doctorale : Physique et Sciences de la Matière
Date de soutenance de la thèse : 26 April 2013
Sujet : Etude et simulation de la siliciuration du cobalt en couches minces pour la microélectronique : cinétique de formation, contraintes, texture et redistribution des dopants
Directeur de thèse : Olivier THOMAS
Co-directeur : Carine PERRIN-PELLEGRINO
Unité de recherche : IM2NP - INSTITUT MATERIAUX MICROELECTRONIQUE NANOSCIENCES DE PROVENCE
Intitulé de l'équipe :

Master

Intitulé : Micro et nanotechnologies
September 2009 - Université Paris Sud XI

Langues vivantes

Anglais : Scientifique
Portugais : Courant

Production scientifique

  • In-situ study and modeling of the decreasing reaction rate at the end of CoSi2 formation
    Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International 2011
    R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
    http://dx.doi.org/10.1109/IITC.2011.5940309
  • CoSi2 ultra-thin layer formation kinetics and texture from X-ray diffraction
    Thin Solid Films 2012
    R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
    http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2012.10.128
  • Decreasing reaction rate at the end of silicidation : in-situ CoSi2 XRD study and modeling
    Microelectronic Engineering 2013
    R. Delattre, R. Simola, C. Rivero, C. Perrin-Pellegrino, O. Thomas
    http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2013.01.003