Madame Clara DELWAIL / PhD

PhD

Title : PHYSIQUE & SCIENCES DE LA MATIERE - Spécialité : MATIERE CONDENSEE et NANOSCIENCES

First registration date : 7 January 2019 / 4A

Doctoral school : Physique et Sciences de la Matière

Thesis defense date : 1 June 2022

Subject : Etude de l'impact de la pré-amorphisation par implantation ionique pour l'optimisation des contacts siliciurés

Thesis supervisor : MANGELINCK Dominique

Thesis co-supervisor :

Research unit : IM2NP - Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence